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          槽式濕法制程設備

          GAN去光阻全自動清洗機

          特點:
          生產主線為:上料臺、超聲循環溢流槽1、循環溢流槽槽2、循環溢流槽槽3、QDR槽4、QDR槽5、下料臺,共5個制程工位。本設備電器控制部分關鍵件均采用進口優質件,性能可靠,使用壽命長;及背部設有吸風口,為防止污染空氣,用戶需外接風管抽風。本機臺是一個人機界面(觸摸屏)加PLC控制的自動控制系統,操作者只須將清洗花籃放置于上料工位上,再由PLC控制機械手將花籃輸送到各個工位,按照事先輸入的程序對晶片進行各工藝處理。
          加工對象:藍寶石基底的GaN、砷化鎵基底的AlGaInP晶片和PSS襯底;

          產品詳情

          產品詳情:

          項目

          說明

          機臺數量

          1臺(套);

          機臺重量

          XX;

          加工對象

          藍寶石基底的GaN、砷化鎵基底的AlGaInP晶片和PSS襯底;

          清洗能力(采購方提供cassette樣品)

          4 inch   2 cassette / Batch  25 Pcs/cassette;6 inch     1 cassette / Batch  25   Pcs/cassette;

          產能要求

          濕法制程清洗工藝XXXX    Pcs /月(按照30min/Run,50PCS/Run,22小時/天,26天/月計算,預估值);

          設備形式(潔凈度:千級潔凈室)

          室內放置型;  

          機臺封面、主要結構材質

          聚丙烯磁白PP 10T();

          阻燃聚丙烯PP 10T ();

          米黃色聚氯乙烯PVC 10T ();

          SUS304單鏡面板材1.5T(√); 

          機臺視窗

          材質

          透明、抗靜電之聚氯乙烯PVC  5T (√);

          SUS304單鏡面板材及鋼化玻璃   5T(); 

          模式

          上下舉升式();

          左右推拉式(√);

          機臺主機強度結構

          整體SUS304不銹鋼結構骨架;

          防漏盤

          材質

          聚丙烯磁白PP板材;

          模式

          分體式  每側尺寸比設備本體長50mm;

          漏液檢測裝置

          材質

          防腐材質;

          點式

          單點式;

          其它

          水平調整

          通過地腳調整設備水平;

          設備移動

          設備裝有樹脂腳輪以備設備移動之用;

          臺面板

          材質

          ¢12mm左右洞洞結構   聚丙烯磁白PP板材();

          ¢12mm左右洞洞結構   SUS304單鏡面板材(√);

          相鄰槽之間須有接水板,接水板須傾斜放置,用以盛接花籃經過時漏液();

          模式

          可拆式(√);

          一體式();

          排風系統

          排風口位置

          設備后頂部(√);

          設備后下部();

          設備后部();

          排風通道結構

          1) 排風強勁合理設計,為了排風效果達到最佳,排風通道內設有風量導流板;

          2) 為了方便操作人員根據情況及時調節排風量,操作人員可小范圍調節機臺排風背板上的可拆卸式(以便清除可能產生的結晶)排風柵欄再配合機臺視窗上的可調進氣模塊使用達到最佳使用效果;

          3) 設備排風通道的底部帶排液管,冷凝回流的廢液通過管道排放至機臺U型濕區內與QDR排出的廢水混合稀釋并排放至機臺后方廠務廢水專用管道內;

          機臺的電控系統

          安裝在機體的后部; 觸摸屏及電源控制開關、照明等安裝在設備正前方。各槽體的工藝過程均由PLC、觸摸屏、溫控器、傳感器等組成。設備具有上電手動操作復位功能。每個機臺可存儲X套工藝配方,操作者可通過觸摸屏調用預先編制好的工藝配方。軟件系統具有工藝配方參數設定、手動維護、自動運行、狀態監控等畫面。軟件具有報警信息、歷史記錄、維護信息等系統記錄。軟件系統具有3級加密進入權限設置:分別為設備作業員、設備工程師、工藝工程師,不可混用權限;

          工藝記錄儲存類型

          工業掃碼槍+PLC+觸摸屏

          使用程序時刷條碼確認程序,完成生產工藝中參數及工藝步驟等詳細記錄存儲,便于采購方對生產產品品質管控; 程序運行記錄可定時存儲,存儲數據類型參考如下:程序號、操作者、槽體溫度、設定時間、運行時間、報警信息等(待定)。PLC或觸摸屏具有USB接口,可讀出程序運行記錄;

          規格特點:
          01)工藝說明: 自動傳動,自動方式實現槽體間傳送工件,手臂按照菜單選擇流程作業,生產部人員選取菜單進行作業,這個過程全自動進行; 02)全程自動化控制,工藝過程中沒有人工干預,保證產品性能的一致性;
          03)搬運機械手的橫向移動和縱向提升均采用日本伺服馬達,閉環控制,定位精度≤1mm,可靠性高;采用雙導軌結構及線性模塊傳動,幾何曲線加減速運動,沖擊小、運動平穩;
          04)搬運機械手臂單獨急停、暫停開關、系統急停開關和機械手馬達電機自動過載保護等多重保護,確保操作者的安全;
          05)搬運機械手運行平穩,帶有過載和過流保護,工藝槽發生異常報警需將工藝槽產品放置到溢流槽保護并立即啟動報警(手臂故障需要立即發出報警并不可消除);當工裝出現意外情況時程序自動將藥液排空注入DIW稀釋救貨;

          06)工藝槽設有花籃物理檢測裝置,防止壓籃;
          07)溢流工藝的應用,保證了藥液槽之間的隔離效果和清洗的高潔凈度;

          08)優化配管設置,節約DIW消耗量;

          09)工藝柔性化設計,工藝更改方便迅速;多工藝數據庫,可供用戶使用和存儲;

          10)整機在使用、運行過程中平穩、可靠、不產塵、無溢出油污等,需潤滑的零件必須密封處理;

          11)整機采用PLC控制,觸摸屏顯示,清洗槽定溫控制,過溫保護及超(兆)聲低液位保護;

          12)整機采用全封閉設計。設備運行峰值噪音小且操作、維護和維修方便;

          13)整機耐酸堿溶液及揮發氣體的腐蝕,電器元件正常安全使用;

          14)機臺設有緊急停止回路(EMO急停按鈕,設備兩端各一個),并按照標準設置接地保護斷路器;

          15)整機前后區隔離,底板傾斜設計,便于排液,最低處設有漏液報警,前后區域均設水槍,確保漏液及時沖洗;

          16)清洗槽體及管路配有明顯標識或防錯設計,防止溶劑混用;

          17)設計合理化的排風管路,使酸堿液揮發氣體的污染最小化;

          18)設備內部輸水、輸氣管道管線布置于主體設備內部;

          19)廢水按照高氟、低氟、酸堿、酸堿含醇四類排放;

          20)設備內廢氣總管路可用維護區水槍清洗,清洗廢液流入酸堿廢液總管;

          21)工藝溢流槽體都需具有外槽獨立溢流方式,需采用四面溢流;如果無法實現,至少需要三面溢流;

          22)搬運機械手抓驅動部分為電機馬達驅動完成指定動作并配有傳感器實時監測,抓取部位設有防壓框傳感器,檢測抓取成功與否;

          23)搬運機械手臂設有防夾防撞預警裝置(光電傳感器、機械傳感器、機械裝置等),以保護操作人員安全;

          24)工藝槽工作區域與機臺控制外配有安全監測裝置,防止搬運機械手對操作人員的意外損傷;

          25) 設備后方、左右兩側需留有方便維護、維修的窗口;

          26) 機臺上料下料區各配水***2把;

          27)機臺排風口處安裝排風壓力監測裝置(帶信號報警裝置);

          28)機臺總進口處(N2或CDA)安裝有壓力監測裝置(帶信號報警裝置);

          29)工藝槽槽底傾斜式,便于排空;

          30)根據工藝要求選擇配套UPS電源(15-20min);

          31) 排風調節板根據風壓可自動調節;


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